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一次氦检机
装备特征：

1. 电芯可单独检测，，，，，，良品自动配对
2. NG品自动复检

标准设置：

注氦模？？？？？

可选设置：

1. 扫码模？？？？？
2. 氦接纳功效

产品参数：
基本参数 参数值
单机产能 75PPM（装备节奏受氦检工艺时间影响）
检测方法 氦气检测
适用电芯尺寸 直径(dia)20-70mm，，，，，，高度(height)100-300mm
氦检时间 ≤5s
漏杀率 ≤0%
过杀率 ≤0.2%
注氦压力 -20~150kPa
调理精度 0.001MPa
最小可检漏率 1×10-12Pa*m3 /s
腔体密封性 抽真空至20Pa，，，，，，保压2min后最先测试，，，，，，1min内腔体压降≤50Pa
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