接纳笔直涂覆工艺,,,,,,专为平面基材的湿法薄膜制备而优化。。。。。。。其设计紧凑轻量,,,,,,在确保高标准涂覆效果的同时,,,,,,集成完善回风系统,,,,,,为操作职员提供康健防护。。。。。。。
涂覆基材笼罩规模:200×200mm~400×400mm
涂覆湿厚:≥3um 成膜干厚:优于3%(@500nm)
最大涂覆速率:100mm/s