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产线级真空结晶装备
产品概述:

通过快速抽真空加速溶剂挥发,, ,,实现涂层的高效结晶与辅助成膜;;;;;; ;装备接纳上抽式设计与多层可调均流板,, ,,确保腔体内流场匀称稳固;;;;;; ;集成顶升机构并兼容MES系统,, ,,专为一连在线生产打造。。。

焦点参数:

腔体尺寸:240×240×80mm ~ 450×450×120mm
真空速率:标配 10s 可达 10Pa;;;;;; ;可选 2s 可达 150Pa、3s 可达 150Pa、5s 可达 10Pa 等
产能节奏:约 1ppm(需配合高速上下料系统实现)

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